내 inode는 모두 어디로 갔나요?

오늘 VPS 중 하나에 inode가 부족했습니다.
여러 개의 중복된 작은 파일을 삭제하여 시스템을 다시 실행하기에 충분한 inode를 확보했습니다.

Filesystem     Inodes IUsed IFree IUse% Mounted on
/dev/simfs       586K  529K   58K   91% /

또한 사용된 inode 수를 제공하는 간단한 명령을 작성했습니다(기본적으로 모든 파일과 해당 inode 번호를 나열하고, 중복 항목을 필터링하고 결과의 줄 수를 계산합니다).

sudo find / -xdev -type f -printf '%i~%P\n' > files.txt
<files.txt | sort -u -t'~' -k1,1 > inodes.txt
wc -l files.txt inodes.txt

1513608 files.txt  
275320 inodes.txt

/따라서 파일은 275,000개의 inode만 차지하는 것처럼 보이지만 df529,000개가 사용되고 있다고 보고합니다.

어떻게 그럴 수 있습니까?

_{(프로세스에 의해 여전히 잠겨 있는 inode를 해제하기 위해 시스템을 재부팅하기도 했지만 사용된 inode의 수는 전혀 변경되지 않았습니다.)}